自原子力顯微鏡發明以來,原子力顯微鏡通過在納米尺度上提供精確、可靠、無損的成像,在材料科學和元件工程中產生了革命性的影響。原子力顯微鏡被廣泛用于納米技術應用當中,像生物醫學可植入驅動器、電池超薄陰極材...
樣品:納米材料 項目:彈性模量
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近年來,對電化學過程的理解如電沉積(也稱電鍍)在各種科學技術中的作用變得非常凸顯,包括括微電子、納米生物系統、太陽能電池、化學等其他廣泛應用。〔 1,2〕電沉積是一種傳統方法,利用電流通過一種稱為電解質...
樣品:銅 項目:金表面電沉積
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導電性測量是一種有效的方法, 可用來描述某些特殊應用中材料的特性與行為,從能量存儲和能量轉換元件,到分子元件電路以及納米級半導體元件。導電探針原子力顯微鏡(CP-AFM)是其中一種相當有用的技術,它可以提供...
樣品:碳納米管 項目:薄膜導電性
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鐵電材料由于其獨特的機電特性和電學特性,在工業上得到了廣泛的應用,例如作為致動器、傳感器和電容器等 [1], [2]。 如今,研究人員正在研究鐵電體對5G等現代通信技術的適用性 [3], 作為光伏電池中的活性層 [4], [5...
樣品:鐵電材料 項目:鐵電疇特性
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功函數是一種材料特性,可用于區分復合材料中的單一成分或用于區分樣品與基體。開爾文探針力顯微鏡(Kelvin probe force microscopy,KPFM)能利用已知的探針功函數,以納米分辨率去成像樣品表面功函數分布。在這...
樣品:分子聚集體 項目:電勢成像
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隨著傳統場效應晶體管 (FET) 的逐漸規模化,如何克服短溝道效應的不利影響變得越來越重要。在這里,二維 (2D) 材料能夠將載流子限制在一個平面內,進而改善靜電柵極的控制,并能夠進一步擴展摩爾定律。在二維材料...
樣品:二維材料 項目:表面電位測量
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利用原子力顯微鏡進行的自動缺陷復檢通過納米級的分辨率在三維空間中可視化缺陷。因此,納米級成像設備是制造過程的一個重要組成部分,它被視為當今半導體行業中最理想的技術。 結合原子力...
樣品:半導體 項目:缺陷檢測分類
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自原子力顯微鏡(AFM)[1]發明以來,它被廣泛應用到了樣品表面無損成像中,其電學、磁學和力學等性能表征也吸引了科研界的巨大興趣。然而,除此之外,AFM還為局部表面修改和圖案制作提供了巨大的潛力,它可以使用過...
樣品:納米級導電,半導體 項目:表面無損成像
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SSRM AFM,用于半導體失效分析的最佳選擇Park NX-Hivac上提供的高真空掃描擴展電阻顯微鏡(SSRM),可實現新一代設備的2D載體輪廓分析,并在高真空條件下測量高分辨率SSRM圖像,以提高產品良率。高真空SSRM測量顯...
樣品:半導體,電子器件 項目:AFM失效分析
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在過去的幾十年中,原子力顯微鏡(AFM)已經深入參與了納米尺度的研究和開發。雖然已被廣泛使用,但對AFM數據的理解有時還是很麻煩,特別是對于新的AFM用戶。原子力顯微鏡對各種力和效應的非凡敏感性使其不僅是一種...
樣品:材料 項目:表面形貌
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光罩是半導體器件制造中用于晶圓納米圖案化光刻過程中的關鍵部件。光罩選擇性地透射或反射光以在目標襯底中產生圖案。光罩上的缺陷可能是由吸收層繪制圖案時引起的或在光罩處理過程中添加的,這可能會降低晶圓的質量...
樣品:光罩 項目:修復技術
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本技術說明介紹了新研究型原子力顯微鏡(AFM)Park FX40。以前,由于復雜的操 作和繁瑣的處理使得原子力顯微鏡難以被廣泛接受。而 FX40 通過引入智能掃描算法、全 自動探針操控、全自動系統校準檢測和近針操作,以及...
樣品:半氟化烷烴(F14H20),聚四氟乙烯(Teflon),苯乙烯-丁二烯-苯乙烯共聚物,氮化硼上的石墨烯 項目:表面測量
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利用原子力顯微鏡進行的自動缺陷復檢通過納米級的分辨率在三維空間中可視化 缺陷。因此,納米級成像設備是制造過程的一個重要組成部分,它被視為當今半導體 行業中最理想的技術。 結合原子力顯微鏡的三維無創...
樣品:半導體 項目:表面測量
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Park XE15世界頂級精度及強大功能park原子力顯微鏡產品特性具備多個特殊功能,是共享實驗室處理各類樣品,研究院進行多變量實驗,失效分析時研究晶片等的不二選擇。合理的價格搭配強健的性能設置,使其成為業內性價...
樣品:半導體 項目:表面測量
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XY掃描器由對稱的二維撓曲和高強度壓電疊層組成,它最小化的面外運動能提供高度的正交掃描,用最快的響應來完成納米尺度上精確樣品掃描。XY掃描器的每個方向是都裝有兩個對稱的低噪聲位置傳感器,在最大的掃描范圍及...
樣品:超大納米平板顯示器 項目:表面測量
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Park NX-Hivac可使故障分析工程師在高真空環境中提高AFM測量的靈敏度和重復性。由于高真空測量比一般環境或干燥的氮氣條件下具有更高的精確性,更好的重復性,更少的針尖和樣品損傷,用戶可以在各種失效分析應用中測...
樣品:敏感材料 項目:表面測量
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為FA和研究實驗室提供精確的原子力顯微鏡解決方案 介質和基底的表面粗糙度測量 缺陷檢測成像和分析 高分辨率電學掃描模式 針對三維結構研究的側壁測量* 實現高量率的精確且高重復性的測量 非接觸模式能夠保持針尖銳...
樣品:半導體 項目:表明測量
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無掃描器弓形彎曲的平直正交XY軸掃描 Park的串擾消除技術不僅改善了掃描器弓形彎曲的缺點,還能夠在不同掃描位置,掃描速率和掃描尺寸條件 下進行平直正交XY軸掃描。即使最平坦的樣品也不會出現如光學平面,各種...
樣品:半導體 項目:表面測量
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超高精度和最小化探針針尖變量的亞埃級表面粗糙度測量晶圓的表面粗糙度對于確定半導體器件的性能是至關重要的。對于最先進的元件制造商,芯片制造商和晶圓供應商都要求對晶圓上超平坦表面進行更精確的粗糙度控制
樣品:半導體 項目:表面粗糙度測量?
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無掃描器弓形彎曲的平直正交XY軸掃描 Park的串擾消除技術不僅改善了掃描器弓形彎曲的缺點,還能夠在不同掃描位置,掃描速率和掃描尺寸條件 下進行平直正交XY軸掃描。即使最平坦的樣品也不會出現如光學平...
樣品:材料 項目:高精度納米測量
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SILICON SEMICONDUCTOR I 高真空對于電掃描探針顯微鏡的優勢高真空對于電掃描探針顯微鏡的優勢Advantages Of High Vacuum For Electrical Scanning Probe Microscopy 來自IMEC和比利時魯汶大學物理與天文...
樣品:. 項目:.
產品配置:25臺儀器,0個耗材,0個試劑