在高真空條件下執行掃描擴散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結果。因此，利用NX-Hivac進行的高真空掃描擴散電阻顯微術測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準確性的明智選擇。

Park Hivac 管理器

NX-Hivac 真空自動控制

Hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制最佳真空條件抽氣和排氣過程來實現高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。

高級自動化特點

NX-Hivac具有大量功能從而能夠最大化減少用戶輸入。換言之，您可以更快速地掃描，提高實驗室產量。

配備電控載物臺的StepScan 自動化掃描

StepScan允許用戶能夠對器件進行編程從實現而快速便捷地多區域成像。NX-Hivac讓您只需五步即可完成樣本掃描：掃描、提升懸臂、移動電動平臺至用戶定義坐標區域、進針及重復掃描。如此可極大地提高生產率，最大化減少用戶輸入。

電動激光對準

Park電動激光對準使用戶無需輸入即可無縫銜接自動化測量例程。憑借著我們先進的預準直懸臂架，在更換探針時激光已對準懸臂。只需要調整定位旋鈕，便可在X和Y軸上任意定位激光光點，達到最佳位置。

提高精度和生產率

NX-Hivac即是全球最精準的高性能原子力顯微鏡，同時也是用于故障分析的最簡單方便的原子力顯微鏡之一。Park NX-Hivac幫您可以提高自己的生產效率，并確保取得靠譜的結果。

閉環XY和Z軸掃描儀

利用兩個獨立的閉環XY和Z軸撓曲掃描儀，您可以確信掃描的高精準度。NX-Hivac提供低殘余彎曲的平面和正交XY軸掃描，使得整個掃描范圍內的離面運動距離低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色還有非線性為低于0.5%的15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，無需進行軟件后期處理即可獲得精準的二維和三位測量。

低噪聲XYZ軸位置傳感器

NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡行業領先的低噪聲Z軸探測器功能，可準確測量樣本形貌，同時低噪聲XY軸閉環掃描將前后掃描間隙降低至掃描范圍的0.15%。

24位數字電子控制器

NX-Hivac的一大特點是NX系列電子控制器可實現時間浪費最小化、精度最大化。我們的控制器為全數字、24位高速器件，用戶能夠利用其執行一系列掃描，包括我們的真正非接觸（True Non-Contact）模式。控制器具有低噪聲設計和高速處理部件，是精密電壓和電流測量及納米級成像的絕佳之選。嵌入式電子產品同時具有數字信號處理特點，用戶可輕松地分析測量值和成像。

Park NX-Hivac技術參數

掃描器

Z掃描器

柔性引導高推動力掃描器

掃描范圍: 15 μm (可選 30 μm)
高度信號噪聲等級: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz bandwidth)

XY掃描器

閉環控制的柔性引導XY掃描器

掃描范圍: 100 μm × 100 μm
(可選50 μm × 50 μm)

驅動臺

Z位移臺行程范圍 : 24 mm (Motorized)
聚焦樣品臺行程范圍 : 11 mm (Motorized)
XY位移臺行程范圍 : 22 mm x 22 mm (Motorized)

樣品架

樣品大小: 最大尺寸為 50 mm x 50 mm, 厚度最大值為 20 mm
樣品重量 : < 500 g

光學

10倍超長工作距離鏡頭
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野 : 840 × 630 μm (帶10倍物鏡)
CCD : 5 M pixel

物理信息

內真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm
外部真空 (including granite & pump) : 800 mm x 950 mm x 1240 mm

高真空

真空等級: 通常小于 1 x 10^-5 torr
托泵速 : 使用渦輪和干式泵在約5分鐘內達到 10^-5 torr

軟件

SmartScan?

AFM系統控制和數據采集軟件
智能模式的快速設置和簡易成像
手動模式的高級使用和更精密的掃描控制

XEI

AFM數據分析軟件

真空管理器

自動真空控制軟件

電子

集成功能

4通道靈活的數字鎖相放大器
彈簧常數校準（熱法，可選）
數字Q控制

外部信號接入
20個嵌入式信號輸入/輸出端口
5個TTL輸出 : EOF、EOL、EOP、調制和交流偏置

AFM模式
(*Optionally available)

標準成像

真正非接觸原子力顯微鏡
PinPoint?原子力顯微鏡
接觸式原子力顯微鏡
側向力原子力顯微鏡(LFM)
相位成像
輕敲式原子力顯微鏡

力值測試

力距離(F/d)光譜
力體積成像

介電/壓電特性

靜電力顯微鏡 (EFM)
動態接觸式靜電力顯微鏡 (EFM-DC)
壓電響應力顯微鏡 (PFM)
高壓PFM*

機械性能

力調制顯微鏡 (FMM)
納米壓痕*
納米刻蝕*  
高壓納米刻蝕*
納米操縱*

磁學特性*

磁力顯微鏡(MFM)

電學特性

導電原子力顯微鏡(C-AFM)*
電流-電壓分光譜*
開爾文探針力顯微鏡 (KPFM)
掃描電容顯微鏡 (SCM)*
掃描擴展電阻顯微鏡 (SSRM)*
掃描隧道顯微鏡 (STM)*  

產品照片

帕克 NX-Hivac 原子力顯微鏡 失效分析應用的高真空掃描由Park帕克原子力顯微鏡為您提供，如您想了解更多關于帕克 NX-Hivac 原子力顯微鏡 失效分析應用的高真空掃描 報價、型號、參數等信息，歡迎來電或留言咨詢。

注：該產品未在中華人民共和國食品藥品監督管理部門申請醫療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關用途。