Park NX20技術參數

掃描器

Z掃描器

柔性引導高推動力掃描器

掃描范圍: 15 μm (可選 30 μm)
高度信號噪聲等級: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz帶寬)

XY掃描器

閉環控制的柔性引導XY掃描器

掃描范圍: 100 μm × 100 μm
(可選 50 μm × 50 μm)

驅動臺

Z位移臺行程范圍 : 25 mm (Motorized)
聚焦樣品臺行程范圍 : 15 mm (Motorized)
XY位移臺行程范圍 : 150 mm x 150 mm (Motorized)

樣品架

樣品尺寸 : 基本配置開放空間 up to150 mm x 150 mm,厚度 up to 20 mm (可選，可擴展到 200 mm x 200 mm)
樣品重量 : < 500 g

光學

10倍 (0.23 N.A.)超長工作距離鏡頭 (1μm分辨率)
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野 : 840 × 630 μm (帶10倍物鏡)
CCD : 100萬像素, 500萬像素 (可選)

軟件

SmartScan?

AFM系統控制和數據采集的專用軟件
智能模式的快速設置和簡易成像
手動模式的高級使用和更精密的掃描控制

XEI

AFM數據分析軟件

電子

集成功能
4通道數字鎖相放大器
數據Q控制

信號處理

• ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor

• DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning

• Maximum data size : 4096 x 4096 pixels

連接外部信號
20個嵌入式輸入/輸出端口
5個TTL輸出 : EOF, EOL, EOP, 調制和交流偏壓

AFM模式
(*可選項)

標準成像

真正非接觸式原子力顯微鏡
PinPoint? 原子力顯微鏡
接觸式原子力顯微鏡
橫向力顯微鏡(LFM)
相位成像
輕敲式原子力顯微鏡

力測量

力-距離(F/d)光譜
力譜成像

介電/壓電性能

靜電力顯微鏡 (EFM)
動態接觸式靜電力顯微鏡 (EFM-DC)
壓電力顯微鏡 (PFM)
高壓壓電力顯微鏡*

機械性能

力調制顯微鏡 (FMM)
納米壓痕*
納米刻蝕*
高壓納米刻蝕*
納米操縱*

磁學性能*

磁力顯微鏡 (MFM)
可調制磁力顯微鏡

電性能

導電原子力顯微鏡 (C-AFM)*
IV 譜線*
掃描開爾文探針顯微鏡 (KPFM)
掃描電容顯微鏡 (SCM)*
掃描電阻顯微鏡 (SSRM)*
掃描隧道顯微鏡 (STM)*
光電流測繪 (PCM)*

化學性能*

功能化探針的化學力顯微鏡
電化學顯微鏡 (EC-AFM)

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注：該產品未在中華人民共和國食品藥品監督管理部門申請醫療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關用途。