ASTM E2088-06
清潔室和相關受控環境中粒子沉積物測量用選擇、制備、陳列和分析參考表面的標準實施規范
Standard Practice for Selecting, Preparing, Exposing, and Analyzing Witness Surfaces for Measuring Particle Deposition in Cleanrooms and Associated Controlled Environments
- 標準號
- ASTM E2088-06
- 發布
- 2006年
- 發布單位
- 美國材料與試驗協會
- 替代標準
- ASTM E2088-06(2011)
- 當前最新
- ASTM E2088-06(2021)
- 適用范圍
- 這種做法提供了一種在潔凈室和其他受控環境中測量顆粒沉積或沉降物的標準方法。它基于使用見證表面來收集從周圍環境中沉積的顆粒，然后通過傳統方法對顆粒進行尺寸測量和計數。介紹了幾種選項，以及為預期應用選擇最佳選擇的限制和指南。本實踐適用于包括航空航天、微電子和制藥在內的眾多行業。1.1本實踐旨在協助見證表面的選擇、準備、暴露和分析，以表征潔凈室和相關受控環境中的顆粒沉積速率，特別是對于航空航天應用。
1.2 可以根據顆粒尺寸分布和計數、面積覆蓋百分比或產品性能標準（例如光學傳輸或散射）來定義要求。提供了見證表面的多種選擇。本標準并不旨在解決與其使用相關的所有安全問題（如果有）。本標準的使用者有責任在使用前建立適當的安全和健康實踐并確定監管限制的適用性。
1.3 以 SI 單位表示的值應被視為標準。
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