ASTM E2088-06
清潔室和相關(guān)受控環(huán)境中粒子沉積物測(cè)量用選擇、制備、陳列和分析參考表面的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施規(guī)范

Standard Practice for Selecting, Preparing, Exposing, and Analyzing Witness Surfaces for Measuring Particle Deposition in Cleanrooms and Associated Controlled Environments

被代替

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)

ASTM E2088-06

發(fā)布

2006年

發(fā)布單位

美國(guó)材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì)

替代標(biāo)準(zhǔn)

ASTM E2088-06(2011)

當(dāng)前最新

ASTM E2088-06(2021)

 

 

這種做法提供了一種在潔凈室和其他受控環(huán)境中測(cè)量顆粒沉積或沉降物的標(biāo)準(zhǔn)方法。它基于使用見(jiàn)證表面來(lái)收集從周?chē)h(huán)境中沉積的顆粒，然后通過(guò)傳統(tǒng)方法對(duì)顆粒進(jìn)行尺寸測(cè)量和計(jì)數(shù)。介紹了幾種選項(xiàng)，以及為預(yù)期應(yīng)用選擇最佳選擇的限制和指南。本實(shí)踐適用于包括航空航天、微電子和制藥在內(nèi)的眾多行業(yè)。1.1本實(shí)踐旨在協(xié)助見(jiàn)證表面的選擇、準(zhǔn)備、暴露和分析，以表征潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中的顆...

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