ISO 14644-9:2022
潔凈室和相關受控環境.第9部分:顆粒濃度的表面清潔度評定
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 9: Assessment of surface cleanliness for particle concentration
- 標準號
- ISO 14644-9:2022
- 發布
- 2022年
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 當前最新
- ISO 14644-9:2022
- 適用范圍
- 本文件建立了評估潔凈室和相關受控環境應用中固體表面顆粒清潔度水平的程序。 附件 A 至 D 中給出了有關測試和測量方法的建議以及有關表面特性的信息。 本文件適用于潔凈室和相關受控環境中的所有固體表面，例如墻壁、天花板、地板、工作環境、工具、設備和產品。 通過顆粒濃度 (SCP) 評估表面清潔度的程序僅限于 0.05 μm 至 500 μm 之間的顆粒。 本文件不考慮以下問題： ——特定工藝的表面清潔度和適用性要求； ——表面清潔程序； ——材料特性； ——涉及通常與時間和過程相關的相互作用的結合力或生成過程； ——評估和測試統計方法的選擇和使用； ——顆粒的其他特征，例如靜電荷、離子電荷和微生物狀態。
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