本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了 X射線光電子能譜(XPS)的荷電控制和荷電基準(zhǔn)技術(shù)。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于XPS荷電控制和荷電定位技術(shù),不適用于其他電子激發(fā)系統(tǒng)。
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