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DIN EN ISO 14644-10:2013
潔凈室和相關控制環境. 第10部分: 采用化學濃度法對表面潔凈度的分類(ISO 14644-10-2013); 德文版本EN ISO 14644-10-2013

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013); German version EN ISO 14644-10:2013

被代替

標準號: DIN EN ISO 14644-10:2013
發布: 2013年
發布單位: 德國標準化學會
替代標準: DIN EN ISO 14644-10:2022
當前最新: DIN EN ISO 14644-10:2022-10

被代替標準: DIN EN ISO 14644-10:2011

標準

DIN EN ISO 14644-2:2001 潔凈室和相關控制環境.第2部分:證實與ISO 14644-1(ISO 14644-2:2000) 保持一致的試驗和監測規范德文版本 EN ISO 14644-2:2000 EN ISO 14644-5:2004 潔凈室和相關控制環境.第5部分:操作ISO 14644-5-2004 DIN EN ISO 14644-9:2012 凈化室和相關控制環境.第9部分:利用顆粒物濃度對表面潔凈度的分類(ISO 14644-9-2012).德文版本EN ISO 14644-9-2012 UNE-EN ISO 14644-2:2001 潔凈室和相關受控環境第2部分：測試和監控規范以證明持續符合 ISO 14644-1 (ISO 14644-2:2000) BS EN 17141:2020 潔凈室和相關受控環境——生物污染控制

DIN EN ISO 14644-10:2013相似標準

NS-EN ISO 14644-10:2013 潔凈室和相關受控環境第10部分：按化學濃度分類表面清潔度 (ISO 14644-10:2013) UNE-EN ISO 14644-10:2014 潔凈室和相關受控環境第10部分：按化學濃度分類表面清潔度（ISO 14644-10:2013） AENOR UNE-EN ISO 14644-10:2014 潔凈室和相關受控環境第10部分：按化學濃度分類表面清潔度 (ISO 14644-10:2013) 11/30196563 DC BS EN ISO 14644-10 潔凈室和相關受控環境根據化學濃度對表面潔凈度進行分類 DIN EN ISO 14644-10 E:2011 潔凈室和相關受控環境第 10 部分：按化學濃度分類表面清潔度 (ISO/DIS 14644-10:2011) 草案

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