ISO 14644-4:2022
潔凈室和相關受控環境.第4部分:設計、施工和啟動
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 4: Design, construction and start-up
- 標準號
- ISO 14644-4:2022
- 發布
- 2022年
- 發布單位
- 國際標準化組織
- 當前最新
- ISO 14644-4:2022
其他標準
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