GB/T 25915.8-2021
潔凈室及相關受控環境 第8部分：按化學物濃度劃分空氣潔凈度(ACC)等級
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)
GBT25915.8-2021, GB25915.8-2021
- 標準號
- GB/T 25915.8-2021
- 別名
- GBT25915.8-2021, GB25915.8-2021
- 發布
- 2021年
- 采用標準
- ISO 14644-8:2013 IDT
- 發布單位
- 國家市場監督管理總局、中國國家標準化管理委員會
- 當前最新
- GB/T 25915.8-2021
- 引用標準
- GB/T 25915.6
- 被代替標準
- GB/T 25915.8-2010
- 適用范圍
- 本文件依據潔凈室及相關受控環境空氣中具體化學物質(種、組或類)的濃度,對空氣化學污染進行分級。同時,本文件分級技術要求,給出了包括檢測方法、分析方法和時間加權系數在內的規程。 本文件目前只考慮潔凈室運行工況下空氣中100g/m3 ~10-12g/m3 的化學污染物濃度。 本文件不涉及那些空氣中雖有化學物質存在、但不認為對產品或工藝有危害風險的行業、工藝和生產。 本文件無意探討空氣化學污染物的特性。 本文件不包含對表面化學污染的分級。
專題
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