SJ 2798-1987
電子級氣體中顆粒的測定方法.光散射法
Method for determination of particles in electronic grade gases--Light scattering method
2010-02
- 標準號
- SJ 2798-1987
- 發(fā)布
- 1987年
- 發(fā)布單位
- 行業(yè)標準-電子
- 當(dāng)前最新
- SJ 2798-1987
- 適用范圍
- 本方法適用于電子級氫、氮、氧、氬、氮中顆粒的測定，也適用于普通氫、氮、氧、氬、氦及其他無腐蝕性氣體中顆粒的測定。