關于氯硅烷的基本信息介紹
氯硅烷是一種化學品,化學式為SiH3Cl,無色氣體。 [7] 可燃。但易揮發。易水解,在空氣中發煙。對金屬相當地惰性(絕對干燥時),甚至不與金屬鈉反應。通過SiCl4與氫氣反應 [1] ,或者SiH4與氯氣制得 [2] 。氯硅烷能與含活潑氫的化合物進行激烈反應,如與水、醇、酚、硅醇、有機酸等,放出氯化氫。與有機金屬化合物反應,氯原子被相應的有機基取代,生成有機氯硅烷或有機硅烷。用作硅外延片生產過程中的硅源及制備有機氯硅烷的原料。
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