| 產(chǎn)地類別：進(jìn)口 | 供應(yīng)商性質(zhì)：生產(chǎn)商 | 儀器種類：（微）納米劃痕儀 |
| 價格范圍：100萬-150萬 | 位移分辨率：0.1 nm | 有效載荷分辨率：10 nN |
| 最大壓痕深度：600 um | 有效加載載荷范圍：1 N |
納米劃痕測試儀專門用于表征厚度小于 1000 nm 的薄膜和涂層的結(jié)合力。納米劃痕測試儀可用于分析有機(jī)的和無機(jī)的以及軟的和硬的薄膜。如：薄的和多層的 PVD、CVD、PECVD、光刻膠、油漆、涂料和其他各種薄膜。NST3 涵蓋光學(xué)、微電子、防護(hù)、裝飾等 應(yīng)用領(lǐng)域。基體可以是硬的或軟的，包括合金、半導(dǎo)體、玻璃、可折射的和有機(jī)材料。
納米劃痕測試儀帶有載荷傳感器，采用雙懸臂梁用于施加載荷，以及壓電式驅(qū)動器用于對施加的載荷快速響應(yīng)。這一設(shè)計理念還修正了在劃痕過程中發(fā)生的任何事件（例如出現(xiàn)裂紋和故障、缺陷或樣品不平整）而導(dǎo)致的測量結(jié)果偏差。
在劃痕之前、過程和之后，位移傳感器 (Dz) 一直記錄樣品的表面的輪廓。這讓您可以在劃痕過程中或之后評估針尖的位移量，從而可以評估材料的彈性、塑性和粘彈性能（專利：US 6520004)
閉環(huán)主動力反饋系統(tǒng)可在 1 μN(yùn) 以下進(jìn)行更精確的納米劃痕測試。納米劃痕測試儀包含一個 傳感器測量載荷，可以直接反饋給法向載荷驅(qū)動器。這確保施加的載荷就是用戶設(shè)置的載荷。
集成顯微鏡包括配置高質(zhì)量物鏡的轉(zhuǎn)塔和 USB 照相機(jī)。劃痕成像時，能輕松將放大倍數(shù)從 x200 轉(zhuǎn)換為 x4000，實現(xiàn)在低放大倍數(shù)和高放大倍數(shù)自由切換從而更好地對樣品進(jìn)行評估。“跟蹤聚焦”功能可以進(jìn)行將多個劃痕的 Z 樣品臺自動聚焦到正確位置。
劃痕后，您可以在軟件中用時間增量定義無限次后掃描測量殘余位移。這種全新的分析方法將讓您進(jìn)一步了解表面變形性能與時間的依賴關(guān)系。
| 施加的載荷 | |
|---|---|
| 分辨率 | 0.01 μN(yùn) |
| zei大載荷 | 1000 mN |
| 本底噪音 | 0.1 [rms] [μN(yùn)]* |
| 摩擦力 | |
| 分辨率 | 0.3 μN(yùn) |
| zei大摩擦力 | 1000 mN |
| 位移 | |
| 分辨率 | 0.3 nm |
| zei大位移 | 600 μm |
| 本底噪音 | 1.5 [rms] [nm]* |
| 速度 | |
| 速度 | 從 0.4 mm/min 到 600 mm/min |
*理想實驗室條件下規(guī)定的本底噪音值，并使用減震臺。
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注：該產(chǎn)品未在中華人民共和國食品藥品監(jiān)督管理部門申請醫(yī)療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途。
