KYKY-EM8100場發(fā)射掃描電子顯微鏡
1、產(chǎn)品介紹
KYKY-EM8100場發(fā)射掃描電子顯微鏡，使用肖特基場發(fā)射電子槍，亮度高，單色性好、電子束斑小，壽命長，超大樣品倉，滿足不同客戶的觀測需求；低像差物鏡技術(shù)提升成像品質(zhì)，特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計，樣品適用性更廣；錐形物鏡設(shè)計，提升各類信號探測效率。
2、產(chǎn)品特點
l 0.9nm@30Kv (SE)，2.5nm@30kV (BSE)
l 低加速電壓不導(dǎo)電樣品可直接觀測，無需噴金
l 超大樣品艙，最大樣品直徑340mm，可定制樣品倉尺寸
l 束流穩(wěn)定度高，色散小，適宜于長時間的各種精確分析
3、KYKY-EM8100場發(fā)射掃描電子顯微鏡 技術(shù)指標：
分辨率 | 0.9nm@30KV（SE）; 2.5nm@30KV （BSE） |
放大倍數(shù) | 2-3,000,000（圖像放大） |
電子槍 | 肖特基熱場發(fā)射電子槍 |
加速電壓 | 0～30kV |
自動調(diào)整功能 | 聚焦，亮度/對比度、消像散、電子束對中 |
探測器 | 高真空二次電子探測器（探頭防碰撞）、CCD |
樣品臺 | 五軸全自動大樣品臺 行程： X=150mm,Y=150mm,Z=60mm，T=-5°～+75°,R=360° 最大樣品直徑: Ф340mm；最大樣品高度：50mm；具有碰撞報警功能。 |
選配探測器 | BSE、EDS、EBSD、CL、EBIC等 |
4、應(yīng)用領(lǐng)域
材料科學(xué)：納米粉末、聚合物粉末等；
半導(dǎo)體領(lǐng)域：電路板、襯底鍍層、失效分析；
生物醫(yī)藥：藥物制劑、生物細胞、細菌、植物和昆蟲的微觀結(jié)構(gòu)；
地質(zhì)和環(huán)境科學(xué)：巖石、土壤、礦物和沉積物等；
化工領(lǐng)域：分子篩、催化劑、無機顏填料等；
