| 產(chǎn)地類別：進口 | 供應商性質(zhì)：一般經(jīng)銷商 | 儀器種類：多功能摩擦磨損試驗機 |
| 最高溫度：1000 | 摩擦力分辨率：10m | 最大摩擦力：2000N |
| 儀器重量：150kg | 儀器尺寸：40*61*78cm |
TriboLab CMP 利用其前身產(chǎn)品 （Bruker CP-4） 超過 20 年的 CMP 領域?qū)I(yè)知識，為業(yè)界領先的 TriboLab 平臺帶來了一套完整的功能。基于本套設備產(chǎn)生的高精度和高可重復性使得在整個 CMP 流程中能夠進行高效的鑒別、檢查和連續(xù)功能測試。TriboLab CMP 是市場上唯一能夠提供廣泛的拋光壓力 （0.05-50 psi）、速度（1 至 500 rpm）、摩擦、聲發(fā)射和表面溫度測量的工藝開發(fā)工具，可準確、完整地描述 CMP 工藝和耗材。
布魯克的TriboLab CMP工藝和材料表征系統(tǒng)是專為晶圓拋光工藝而設計，是具有可靠、靈活和高效的臺式設備。
重現(xiàn)全尺寸晶圓拋光工藝條件，無需在生產(chǎn)設備上停機
提供無與倫比的測量可重復性和細節(jié)檢測
允許在小樣品上進行測試，比全晶圓測試節(jié)省大量成本
比市場上任何其他系統(tǒng)提供更多的瞬態(tài)拋光過程的參數(shù)
從接觸拋光盤開始直至整個測試過程都能收集數(shù)據(jù)
通過更完整、更詳細的數(shù)據(jù)實現(xiàn)早期流程開發(fā)決策
拋光任何平面材料，幾乎能使用任何修正盤，任何拋光液，和任何拋光墊
輕松使用 100 mm 以下的小尺寸晶圓
可同時安裝多個樣品，測試更靈活
機械測試儀TriboLab CMP 由廣州淘儀科技有限公司為您提供，如您想了解更多關于 機械測試儀TriboLab CMP 報價、型號、參數(shù)等信息，歡迎來電或留言咨詢。
注：該產(chǎn)品未在中華人民共和國食品藥品監(jiān)督管理部門申請醫(yī)療器械注冊和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關用途。
