本應用說明將演示使用三重四極桿 ICP-MS 測定低濃度鹵素氟、氯、溴和碘的分析工作流 程。

電感耦合等離子體質譜法 (ICP-MS) 因其特異性、檢測能力和提供同位素信息的能力，廣 泛應用于不同基質中痕量元素雜質的定量分析。 在 ICP-MS 中，檢測靈敏度由特定元素的第一電離勢（即從價電子層中移除一個電子所需 的能量）和質量決定。在氬氣等離子體中，通常只有電離勢低于 6 eV 的元素（如堿金屬 和堿土金屬）才能實現完全電離。典型的過渡金屬、貴金屬和稀土元素的電離率仍接近 100%。然而，半金屬，尤其是非金屬，如硅、硫或鹵素，其電離效果較差。同時，它們 的信號通常出現在低質量范圍內（通常低于 m/z 50），在質譜儀的傳輸過程中，很多離 子會丟失。此外，其他因素也可能對分析產生顯著影響，例如同位素干擾和多原子干擾， 這會導致特定元素的最大豐度同位素結果出現偏差，因此分析人員常常需要選擇一種靈敏 度較低但沒有干擾的替代方案。尤其是在低質量范圍內，多原子干擾非常普遍，因此幾乎 無法使用 ICP-MS 進行分析。