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| 參考報(bào)價(jià)： | 面議 | 型號(hào)： | / |
| 品牌： | 四方光電 | 產(chǎn)地： | 湖北武漢 |
| 關(guān)注度： | 16 | 信息完整度： |  |
| 樣本： | 典型用戶： | 暫無 |
| 測量范圍 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
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發(fā)布時(shí)間：2024年08月
紅外氣體傳感器
紅外氣體傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性
使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應(yīng)時(shí)間快，高靈敏度
無耗材
模擬/數(shù)字通信
模塊化設(shè)計(jì)，便于集成
紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)
| 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復(fù)性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測限 | 1ppm |
紅外氣體傳感器
紅外氣體傳感器信息由四方光電股份有限公司為您提供，如您想了解更多關(guān)于紅外氣體傳感器報(bào)價(jià)、型號(hào)、參數(shù)等信息，歡迎來電或留言咨詢。
注：該產(chǎn)品未在中華人民共和國食品藥品監(jiān)督管理部門申請(qǐng)醫(yī)療器械注冊(cè)和備案，不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途
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