為什么掃描電鏡（SEM）的束斑直徑那么重要

2017-12-19

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飛納臺式掃描電子顯微鏡專業(yè)版Pro

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飛納臺式掃描電子顯微鏡 Phenom Pro

品牌Phenom

產(chǎn)地荷蘭

型號高分辨率專業(yè)版 Phenom Pro

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摘要

近年來，隨著科技的發(fā)展和材料尺寸的不斷縮小，掃描電鏡（SEM）已經(jīng)成為一種非常有價值的表征方法。SEM作為一種通用的工具，方便用戶可以對各種各樣的材料進(jìn)行多種不同類型的分析。為獲得更好的結(jié)果，用戶應(yīng)該仔細(xì)設(shè)定SEM參數(shù)。其中一個設(shè)置是束斑直徑，即照射在樣品上的電子束直徑。在這篇博客中，闡述了如何在SEM中調(diào)整束斑直徑，以及如何在高分辨率成像和大束流之間實現(xiàn)平衡，以獲得最佳結(jié)果。

如何在SEM下調(diào)整束斑直徑

描述SEM中電子束性質(zhì)的四個主要參數(shù)如圖1所示:

1. 使電子在電鏡腔室中運動的加速電壓

2. 電子束的會聚角

3. 轟擊樣品的電子束流大小

4. 到達(dá)樣品表面的最終束斑直徑。

sem-accelerating-voltage-convergence-angle-beam-current-spot-size.png